設備可與OHT和AGV運線作業
晶圓傳送固定方式，依客戶需求可這擇真吸附
或邊緣夾持方式
內部微環境的潔淨度控制，採以CFD流體分析驗
證，並確保內外壓差之設計，使wafer傳送過程不受汙染
最佳化的Robot運動軌跡，以最短路徑加上曲線
襬間超高速的晶圓對準器，利用動態影像演算精準
快速定位出晶圓中心與方向
搭配光學及影像處理辨識系統，強化WaferID辨
識率．完螫的紀錄數據，可滿足工業4.0下之預
測性維護．客製化服務，提供訂製規格商討
達到快速穩定的傳送